ZL92氟聚合物压力传感器

的阿什克罗夫特®ZL92是一种压力传感器,设计用于需要含氟聚合物(PTFE/PFA)湿部件的半导体工艺,以改善腐蚀性气体和流体中使用的化学相容性。二级隔离隔膜和排气设计将陶瓷传感元件与腐蚀性气体和液体隔离开来,从而延长了传感器的使用寿命。

主要特点:
  • 聚四氟乙烯/PFA湿件
  • 耐腐蚀的化学品,如氢氟酸
  • 低金属离子洗脱
  • 与0.25至0.5英寸的管径兼容。O.D.
  • 电容式传感器具有优异的热稳定性
  • 多种安装选项包括管连接,压合螺母,喇叭螺母和螺纹螺母
  • 100,000级洁净室包装和袋装
应用程序:

半导体清洗设备制造方法及图纸
平板显示器(FPD)清洁设备
湿站
化学品供应系统

规范

认证与批准

数据表和使用手册

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