半导体
用于半导体制造商的压力仪器
全球半导体行业近年来的显著增长预计将持续到2021年及以后。关键促成因素包括电子电气设备中微电子技术的增加、人工智能、物联网和工业4.0计划的扩展。随着这些变化的发生,半导体供应商面临着改善供应以满足需求的挑战。比如,增加晶体管密度,提高可靠性,当然,还包括降低生产和采购成本。
Ashcroft已经准备好并愿意帮助半导体制造商接受并克服这一挑战。我们拥有丰富的行业经验,我们有知识和技能来帮助开发、设计、制造和测试高质量半导体生产所需的仪器和设备。
我们提供各种压力测量产品,包括变送器与我们的专有的超稳定CVD传感技术-适用于半导体制造应用。我们产品的性能与全球安全认证以及在最关键半导体应用中的遗留性能相结合。
在半导体工具中,气体面板控制进入工艺室的气体流量。压力传感器安装在每个气体棒上的气体面板内部,用于监测压力调节器的压力输出。该位置使它们能够发送信号,以更高的精度、精度和速度调整系统操作,从而实现更好的整体系统功能。
一些用于半导体应用的气体是有毒的、易燃的,对那些处理它们的人来说是危险的。这些危险需要对许多产品进行ATEC和IECEx危险地点批准。Ashcroft和日本长野Keiki有限公司(我们的母公司)每年生产超过100,000个压力变送器和压力表,设计和设计用于半导体工业应用的安全使用。
氢气是超高压气体输送中最常用的载气之一。安全处理氢气需要采取保护措施,以降低火灾或爆炸风险。首选方法包括ATEX/IECEx本质安全和无火花认证。要记住的一个关键因素是氢脆的影响。压力变送器和压力计的稳定性和重复性取决于其测量机制(直接与冶金和抗脆化性有关)。阿什克罗夫特高纯度变送器和仪表采用高纯度奥氏体316L不锈钢,已证明可减轻氢脆的影响。
防止污染物渗入洁净室和其他洁净空间所需要的压力是非常具体的。压力过小会导致不必要的颗粒进入该区域,而压力过大则会导致过多的空气流动和能量浪费。集成到空气处理设备中的压力传感器和仪表必须非常敏感、准确和可靠。
压力测量在半导体制造中的重要性
如今,半导体制造业务依赖于超高纯度(UHP)气体的精确交付,这要求纯度水平超过99.9995%,并对杂散颗粒和湿度进行严格控制。考虑到超高压气体供应系统的重要性,用于其分布的测量和控制技术必须提供高精度、高精度的性能,同时保持系统内部的绝对洁净度。建筑材料在与超高压气体接触时必须保持惰性,尽量减少被困(死)体积的风险,并防止颗粒脱落和被困。
虽然超高压气体对现代半导体的制造至关重要,但其毒性和可燃性对处理这些气体的人的健康和福祉构成重大风险。因此,半导体操作中使用的一些设备需要符合泄漏完整性和危险位置规范和标准(如ATEX和IECEx),以确保用户安全。
Ashcroft半导体制造压力仪器
洁净室和洁净空间用低压差变送器和传感器
我们的许多差压传感器-包括DXLdp, CXLdp, AXLdp和GC30 -集成与Si-GlasⓇ技术,这有助于他们适应超低压差应用中高度关键的监测和控制需求。压力范围低至0.05 H2O (12.5 Pa),允许在极低的压力下进行最严密的控制。
1130系列压力表适用于手套箱、晶圆处理设备和墙板,压差范围低至0.6 H2O (150 Pa)。
为什么和阿什克罗夫特搭档?
与我们合作满足半导体需求的客户将从我们的:
我们以无与伦比的产品性能、广泛的能力和您可以信赖的经验,解决半导体市场的关键需求。我们了解这个行业,因为我们是这个行业的一部分。我们在日本的传感器制造设施包括制造工艺(例如,光刻,蚀刻和薄膜沉积),并拥有10级和100级制造和封装领域。
理解需要最高纯度和清洁度的应用程序是不可选择的,这是我们DNA的一部分。我们在传感器技术方面的丰富经验使我们的产品表现如此出色。我们的设计总是灵活的,因为我们知道,只有我们适合,我们才是解决方案。我们已经在广泛的生产能力上进行了投资,以快速提高最激进的时间表和生产预测。
常见问题
HPX压力表是否有其他刻度和表盘选项?
是的,其他压力单位,范围或定制表盘可以根据要求,但可能是受最小数量。
ZT/ZX压力变送器上是否有其他压力连接?
其他压力配件(如焊接/管道短管或VCO)可根据要求提供,但数量可能最少。
阿什克罗夫特高纯度产品是如何包装的?
所有的ZT/ZX和HPX高纯度仪器都封装在两个塑料(PE)袋氮气净化。
相信阿什克罗夫特专家
在阿什克罗夫特,我们在这里帮助您确定合适的压力仪器,为您的半导体需求。无论您需要标准或洁净室制造环境的仪表、传感器或变送器,我们都会找到完美的产品解决方案。相信我们,你的项目会成功和安全。