半导体

用于半导体制造商的压力仪器

全球半导体行业近年来的显著增长预计将持续到2021年及以后。关键促成因素包括电子电气设备中微电子技术的增加、人工智能、物联网和工业4.0计划的扩展。随着这些变化的发生,半导体供应商面临着改善供应以满足需求的挑战。比如,增加晶体管密度,提高可靠性,当然,还包括降低生产和采购成本。

Ashcroft已经准备好并愿意帮助半导体制造商接受并克服这一挑战。我们拥有丰富的行业经验,我们有知识和技能来帮助开发、设计、制造和测试高质量半导体生产所需的仪器和设备。

我们提供各种压力测量产品,包括变送器与我们的专有的超稳定CVD传感技术-适用于半导体制造应用。我们产品的性能与全球安全认证以及在最关键半导体应用中的遗留性能相结合。

在半导体工具中,气体面板控制进入工艺室的气体流量。压力传感器安装在每个气体棒上的气体面板内部,用于监测压力调节器的压力输出。该位置使它们能够发送信号,以更高的精度、精度和速度调整系统操作,从而实现更好的整体系统功能。

压力测量在半导体制造中的重要性

如今,半导体制造业务依赖于超高纯度(UHP)气体的精确交付,这要求纯度水平超过99.9995%,并对杂散颗粒和湿度进行严格控制。考虑到超高压气体供应系统的重要性,用于其分布的测量和控制技术必须提供高精度、高精度的性能,同时保持系统内部的绝对洁净度。建筑材料在与超高压气体接触时必须保持惰性,尽量减少被困(死)体积的风险,并防止颗粒脱落和被困。

虽然超高压气体对现代半导体的制造至关重要,但其毒性和可燃性对处理这些气体的人的健康和福祉构成重大风险。因此,半导体操作中使用的一些设备需要符合泄漏完整性和危险位置规范和标准(如ATEX和IECEx),以确保用户安全。

Ashcroft半导体制造压力仪器

Ashcroft高纯度压力测量解决方案

ZT高纯度变送器和HPX高纯度压力表

我们的ZT/ZX压力变送器和HPX压力表是专门为半导体应用设计的。这些产品的特点是电抛光316L不锈钢浸润部件和vcr兼容,模块化和焊接管接头的死体积最小。它们具有紧凑的设计,可以容纳在气体盒和气体输送系统内更高密度的安装配置。ZX11包括ATEC和IECEx危险位置批准。

Ashcroft高纯度压力测量解决方案

Ashcroft si - glass传感器技术

洁净室和洁净空间用低压差变送器和传感器

我们的许多差压传感器-包括DXLdp, CXLdp, AXLdp和GC30 -集成与Si-Glas技术,这有助于他们适应超低压差应用中高度关键的监测和控制需求。压力范围低至0.05 H2O (12.5 Pa),允许在极低的压力下进行最严密的控制。

1130系列压力表适用于手套箱、晶圆处理设备和墙板,压差范围低至0.6 H2O (150 Pa)。

Ashcroft si - glass传感器技术

为什么和阿什克罗夫特搭档?

与我们合作满足半导体需求的客户将从我们的:

常见问题

HPX压力表是否有其他刻度和表盘选项?

ZT/ZX压力变送器上是否有其他压力连接?

阿什克罗夫特高纯度产品是如何包装的?

相信阿什克罗夫特专家

在阿什克罗夫特,我们在这里帮助您确定合适的压力仪器,为您的半导体需求。无论您需要标准或洁净室制造环境的仪表、传感器或变送器,我们都会找到完美的产品解决方案。相信我们,你的项目会成功和安全。

联系我们