如果你在半导体行业工作，你知道有一些应用需要专门的设备来处理腐蚀性液体或气体，如清洗和湿蚀刻。这些过程使用腐蚀性化学品和超高纯水。
芯片制造商需要精确地控制这些液体。所使用的压力传感器必须是耐腐蚀的，低金属离子的屏蔽，当然，还要精确。当你的半导体工艺需要压力测量时，你需要最好的仪器来完成这项工作。
压力传感器半导体行业需要使用防止污染的材料来设计和制造，我们新的ZL91和ZL92氟聚合物压力传感器符合要求。
让我们看看这些传感器的特性，以及它们如何适用于您的半导体应用程序。
重要的功能
这些传感器处理特定的应用，你需要化学兼容性和低金属离子躲避，以保持过程的纯净。
ZL91和ZL92的独特设计填补了流行半导体市场的缝隙，这一直在努力满足市场对晶片和元件的需求。
材料
的Ashcroft ZL91压力传感器是专为超纯和去离子水应用。它由含氟聚合物(PTFE/PFA)润湿部分构成，最大限度地减少金属离子洗脱。其紧凑的设计有助于减少污染和保持您的工艺流体的纯度。
的Ashcroft ZL92压力传感器设计用于半导体工艺，要求PTFE/PFA润湿部件，以改善腐蚀性气体和液体中使用的化学兼容性，包括氢氟酸或其他腐蚀性酸。二级隔离膜片和排气设计将陶瓷感测元件与腐蚀性气体和液体隔离，延长了传感器的寿命。
规范
ZL91:
压力范围:
压力表和复合压力范围从15 psi到75 psi
过程连接:
管连接尺寸包括:1/4英寸。, 3/8。1/2。3/4。和1。
准确性:±1.0%跨度73°F(23°C)
精度包括线性、迟滞和重复性的影响。
ZL92:
压力范围:
0-45 psi到0-75 psi
过程连接:
管连接尺寸包括:1/4英寸。, 3/8。又1/2。
准确性:±1.0%跨度73°F(23°C)
精度包括线性、迟滞和重复性的影响。
行业和应用程序
这些专业的传感器是完美的，当标准不锈钢不兼容或有问题，在特定的应用，或当它不是成本效益。它们被推荐用于以下行业和应用:
ZL91:
- 超纯/去离子水设备
- 超纯/去离子水生产设备
- 半导体清洗设备
- 平板显示器(FPD)清洗设备
- 湿站
ZL92:
- 半导体清洗设备
- 平板显示器(FPD)清洗设备
- 湿式蚀刻系统
- 湿站
- 化学品供应系统
优点和缺点
ZL91和ZL92有许多积极的属性。这些传感器很容易安装在您的系统或过程中，使用多种压缩接头和短管接头。
ZL92提供了许多与ZL91相同的优势，但它也合并了Ashcroft的母公司，长野Keiki该专利设计保护传感元件免受酸性或腐蚀性应用产生的气体的影响，这些气体可以渗透到PTFE材料中。这种设计使用了一个气隙和排气口，通过允许气体逸出而不是收集在外壳内来延长ZL92的寿命。
不锈钢是一种通常用于制造传感器的材料，并不总是与这些类型的应用兼容。在某些情况下，可以使用哈氏合金，但它可能非常昂贵。这使得ZL91和ZL92成为这些应用的完美成本解决方案。
总结
ZL91和ZL92压力传感器是理想的半导体应用，介质纯度和/或耐腐蚀要求。它们提供可靠和持久的传感器，以满足您的应用需求。
看看数据表ZL91和ZL92了解这些新型传感器的所有规格和更多信息。
如果你想了解更多压力传感器阿什克罗夫特有许多白皮书、网络研讨会和指南资源中心．
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